实用的ESD管理规范
1、目的:防止半导体产品在生产,搬运,存储,包装过程中受到静电放电的损坏而制定本程序书
2、 适用范围﹕适用于电子生产,军工,航空航天等企业﹒
3、责任﹕
3.1静电防护区域的所有人员必须执行本程序书的要求﹒
3.2制造部经理/各级主管/工程师应保证本部门所有人员都经过适当的ESD培训﹐所有的设备﹐物料都得到了适当的ESD保护﹒品保部人员应该定期稽核所有静电防护区域以确保本程序书的实施﹒

4、定义:
4.1 ESD ELECTROSTATIC DISCHARGE 静电放电,由静电场引起的在两个不等电位物体之间的放电电流.
4.2 ESD防护区域 装备了足够的ESD防护材料和设备以防止限制ESD损坏的生产和存储区域,在本公司以下区域为ESD防护区域: 生产车间(POWER\MOTHERBOARD(DIP SMT )/SYSTEM),QA试验室(IQC/BURN IN ROME),资材仓库,制工维修部.
4.3 ESD防护材料 有以下一种和几种作用的材料:1)限制静电的产生;2)积累于其上的静电荷迅速消散;3)静电屏蔽.静电防护材料根据其表面电阻又分为:导电材料(<10E5Ω),静电消散材料(10E5Ω-10E9Ω)和抗静电材料(10 E9Ω-10E14Ω).
4.4 ESDS ELECTROSTATIC DISCHARGE SENSITIVE静电放电敏感度,产品因为静电放电而导致质量下降.
4.5 FACILITY GROUND 指一块埋在地下的金属导体,是全厂地线网络的汇集点,全厂的所有地线都应直接或间接地与它相连接.
4.6硬接地 直接或通过一个小电阻与FACILITY GROUND相连接.
4.7软接地 通过一个足够大的电阻与FACILITY GROUND 相连,以便由ESD引起的电流不大于5MA.

5、静电防护工具﹕接地铜块﹐接地电阻﹐接地线﹐静电环﹐静电衣﹐静电鞋﹐静电环点检仪﹐接地铜编织带,静电鞋.检查仪﹒

6、程序内容﹕
6.1 ESD防护区域的所有工作台﹐推车﹐货架﹐机器防静电地板都可靠接地﹒
6.1.1工作台上的表面板是软接地﹐方法是通过一个1M的电阻与FACILITY GROUNG相连﹒
6.1.2防静电货架应为软接地﹐接地电阻应在1M-10MΩ电阻之间﹒
6.1.3防静电推车应通过铜编织带﹐导电轮或导电链与导电地板接触﹒
6.1.4防静电地板应每半年由厂务检查一次﹐其表面电阻在1M-10MΩ之间﹐保证其防静电效果﹒
6.1.5所有机器应通过电源或可靠地接地﹐同时在机器上应有ESD监控措施﹐以便操作员在操作机器时进行ESD防护﹒
6.1.6操作员应佩带静电环以实现软接地﹐必须保证静电环接触皮肤﹐所有静电保护区域的人员都应通过静电环检查﹒静电环本身电阻应在200K-5M之间﹐佩带时手与插头之间的电阻应为小于100M﹒
6.1.7进入静电保护区域的人员必须穿静电服﹐静电鞋(或鞋套),静电服的纽扣应扣紧﹐应保持静电服与手腕的接触﹒
6.1.8每季度个区域ESD防护负责人员应对所有机台﹐工作台﹐货架﹐推车的接地状况作一次全面检查﹐通过后才能使用﹒
6.1.9对循环用料盒﹐每4个月报废一次﹐并在每第三个月时﹐抽测其中5只送交QA检查﹐如失效立即报废﹐以起到防静电效果﹒
6.2 操作
在产品的装配﹐测试﹐外观检查﹐分析﹐稳定性测试过程中﹐如果产品是放在有静电屏蔽的外包装盒﹐则其摆放位置和取放方式不受限制﹒
6.2.1 产品应置于可靠接地的工作台﹐推车﹐货架和机台上﹒
6.2.2 操作员应佩带静电环软接地﹒
6.2.3 对于报废器件不受此限制﹒
6.3 标志﹕
6.3.1 ESD防护区域应贴有专用的ESD标签以提示操作人员﹐ESD标签上应有检查人员签字与检查日期﹒
6.3.2出货包装盒上应印有ESDS的警告字样或贴有专用的ESD标签﹒
*** 产品在存放或运到一个非ESD保护区域时应装在容器中﹐这个容器应至少有一层导电层以屏蔽静电场﹒
6.5 所有接触ESD敏感材料的人员应接受ESD课程的培训﹐新员工在开始工作前接受此项培训﹒