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实时检测生产进程与环境与防静电


通过不断的检测,可以确认和量化那些真正需要ESD保护的区域(EPA),将人力和物力集中到那里,同时确认哪些是静电安全区域,节省不必要的开支;确保所有进入EPA环境中的人和物品的静电安全性;保障ESD设备正常、有效的运作。

生产过程中关注的静电参数有电场强度、静电电位、电荷量和电阻率。电荷量是静电最本质的物理量,但现场测量不方便,通常代以测量物体表面的静电电位,测量时常采用非接触式静电电压表,不与被测物体接触,因而对被测物体的静电影响很小。物体的防静电性能可通过检测其表面电阻率或体电阻率来鉴定,而电场强度表征了工作环境中静电积聚的能量,对EPA的确定至关重要。常用的检测仪器有场强计、手/脚腕带检测仪、表面阻抗测试仪、静电电压表、电荷量表等,最新的综合监测设备可对区域中的静电状况全面监测,任一参数超标即自动报警。

检测是ESD控制的必要手段,应在生产的各个环节中实时进行。操作员每次进入EPA之前需测试手/脚腕带、防静电鞋、防静电工作服的性能;必须有专人负责EPA的检测与维护,定期检查各种ESD设备、用具、接地装置是否满足防静电的要求;管理人员应定期检查各个工位的防静电情况,发现不符合要求时,要实时整改;检测结果要整理归档并作为质量管理体系认证的一部分加以核查。

静电防护静电消除是一项系统工程,必须贯彻整体防护思想,综合运用均压、接地、泄流、屏蔽和箝位等技术,构成一个完整的防护体系,才能取得明显的效果。
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