洁净室通俗的说是无尘室或清洁室,在国际标准化组织(ISO)14644-1中, 对洁净室是这样说明的:
洁净室是一个使粒子的进入、产生、滞留最少化的房间, 要实现这一点, 首先要对大量的送风经高效过滤器进行过滤, 这种送风目的在于:
(1)稀释并清除室内人员和设备散发出的粒子和细菌;
(2)向房间加压, 确保较脏空气不会流入洁净室; 其次,洁净室的建筑材料不产生粒子便于清洁; 最后,洁净室人员使用服装罩住身体,使他们散发的粒子和微生物最少。
另外, 洁净室还控制温度、湿度、声音、照明、振动等。 达到上述标准要求,那就是洁净室了。 为此,我们可总结为下面三点:
一、洁净室的悬浮粒子浓度受控;
二、其建造和使用方式使得进入、产生、滞留于室内的粒子最少;
三、室内其他参数,比如温度、湿度、气压等等,按需要受控。